掌握關鍵核心技術的旭東機械，自2014年即大量投入半導體設備研 製鑽研，一步一腳印地積累至今培育出團隊擁有豐沛的設計製造研發 能量，從客戶需求共同探究以建置客製化整機設備，協助半導體廠商 快速提供解決方案。

相較國外進口設備，技術在地化予業者迅速服務掌握時效，塑造差 異化優勢；旭東機械 8”＆12”wafer inspection包含巨觀（macro inspection）及微觀（micro inspection）檢測並具多項優勢，異常 檢出率提高，有效降低客戶檢測成本，隨新產品推出，技術升級快， 完成與終端客戶的檢出比對，以及多樣態的檢測方式（aql抽檢、多 區抽檢、加嚴檢），pad檢測區形貌（幾何外框）的客製化設定等。

另外，晶圓全自動巨觀（macro inspection）檢測，用於晶圓辨識 為業界領先梯隊，多角度取像及影像辨識，輔以ai自動缺陷識別與缺 陷分類提昇檢測速度及準確性，降低人工目檢的誤檢率及數據自動上 報儲存分析，協助客戶以數據進行生產管理，升級智能製造及應用。

創造被利用之價值，亦為旭東競爭利基之一；近年來於半導體檢量 測領域陸續推出foup／fosb光學檢測機、probe card晶圓探針卡檢測 機、缺陷、線寬距量測機、複合光學tsv量測機等與客戶共同研發生 產設備，值得一提的是，專研的probe card晶圓探針卡檢測設備，主 要市場為probe card、maker、封測廠、design house等，適用pogo 、cobra等多項產品。

不同於市場上接觸式的prvs-電性測試，旭東機械採用光學式設計 ：業界非接觸式全自動探針卡檢測的龍頭廠商，檢測項目高達7大項 檢測項目，比市場泛用設備多3-4個檢測項目，不需翻面，即可有效 檢測，並整合人員調針的功能；另外幫客戶量身設計的mlo，可為客 戶有效縮短植針前jig對位的動作，原本2～3個小時的對位調整時間 ，可縮短至2～30分鐘，對提升客戶生產線的效率，將具正面的效益 。

展望未來，在旭東擘劃的半導體智慧設備藍圖下，旭東機械將與策 略夥伴合作從單站設備整合自動化搬運物流系統，以提供客戶更完整 、高效的方案與服務。 <摘錄工商-◎必富網◎小編整理、同質網站未經授權請勿直接複製>