fpc製程中有一道重要的雷射切割程式，需使用具有高速、高品 質，且加工寬度小於100μm（機械加工極限為100μm）之雷射 切割光路模組，目前國內面板廠商皆使用國外進口的雷射加工機 ，此類雷射加工機金額動輒約一、二千萬，因此為降低國內面板 產業之生產成本，研發國產化雷射加工機是必然趨勢，鈦昇科技 公司研製雷射加工機已持續15年，此次善用經濟部工業局「平面 顯示器設備自製率倍增計畫」，與工研院雷射中心通力合作，成 功開發出雷射切割機光路模組。

該計畫主要關鍵技術共分三部份，其一為「雷射平頂光型」，一 般雷射光能是高斯光型分布其能量分布不均勻，主要雷射光能集 中在中心處，而遠離雷射光中心處能量分布逐漸遞減。

因此被加工物件亦會產生v型缺口，而本計畫引進光束平頂整型 設計，將原本的高斯光束轉換成平頂光型，讓雷射光能分布平均 應用於加工上，來改善被加工物件v型缺口的不良。

其二為「振鏡掃瞄聚焦系統」，當雷射光從高斯光束轉換成平頂 光束，然後進入2d掃瞄振鏡系統，將雷射光迅速移動到不同的位 置，最後經過f─θ聚焦透鏡，雷射光束即可精確聚焦在被加工樣 品上。

其三為本系統之雷射光路有同軸的影像監控系統，此系統可在加 工同時監控被加工物件之品質，若是有不良情況可立即修正改善 ，不需等到加工完成後再去檢視，如此可減少加工不良情況與數 量、提升製程良率及降低成本以提高產品競爭力。

此次鈦昇公司與雷射中心合作開發雷射光路，結合鈦昇公司原本 在雷射加工機設備電控與機構技術，所開發雷射加工機設備已進 入最後測試驗證的階段，預估三年內國產化高階雷射加工機即將 問世，屆時不僅面板關鍵設備技術邁向更高的里程碑，且對於國 內廠商結合技術單位，藉由政府輔導案共同開發成功案例，樹立 產、官、學、研的良好典範。

【摘錄經濟】